【作者】 陈戈林； 任文革； 郭艳林；
【机构】 清华大学电子工程系；
【摘要】 阐述了声学显微镜（ＳＡＭ）的结构、工作原理，以及声学显微镜在电子元器件检测中广泛的实际应用研究；指出ＳＡＭ是一种具有观察、检测、分析的多功能仪器，将成为超声检测仪器升级换代产品。更多还原
