【作者】 张燕陵； 宁兆元； 任兆杏；
【机构】 中国科学院等离子体物理研究所； 中国科学院等离子体物理研究所 合肥230031； 合肥230031；
【摘要】 <正> c轴取向氧化锌(ZnO)薄膜具有较强的压电和压光效应,常常用于声电、声光装置。在体声波(BAW)方面,如用于超声显微镜和薄膜谐振器等;在声表面波(SAW)方面,作为一种传输和相干材枓,它用作滤波器、卷积器、放大器、图象扫描以及谐振器;在导向光波(GOW)中,ZnO薄膜也广泛应用于声光和电光装置和二次谐波发生器等。更多还原
