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等离子体化学气相沉积法制备氮化碳薄膜的研究

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【作者】 徐宝琨； 岳万刚； 吴凤清； 谭万林； 赵慕愚；

【机构】 吉林大学电子科学系化学系； 吉林大学电子科学系化学系 长春 130023； 长春 130023；

【摘要】 <正> 试图制备某一方面性能超过现有材料的新一代材料,一直是材料科学的一个发展方向。人们知道金刚石是硬度材料之王,然而美国Soienoe等报道:从经验模型和量子力学从头计算出发,预估碳氮之间的假想的共价化合物β-C3N4若能制备出来,它将是一种硬度接近或超过金刚石的超硬材料。同时从组成、结构和价键特点可以预测碳氮化合物的薄膜材料将会具有良好的绝缘掩蔽性能和异常高的热传导性能,因而将成为新一代的半导体或光、电器件的介质膜材料。

【关键词】 从头计算； 共价化合物； 电器件； 碳氮化合物； 介质膜； 沉积温度； 衬底温度； 聚合物结构； 热传导性能； 价键；
【基金】 国家自然科学基金
  • 【文献出处】 化学通报 ,Chemistry , 编辑部邮箱 ,1993年11期
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