【作者】 李智慧; 李宝军;
【机构】 甘肃教育学院教务处; 甘肃教育学院物理系 兰州; 730000; 兰州;
【摘要】 本文将酸碱滴定法用于 GaP 半导体器件的生产中,测定了半导体工艺中所掺微量元素N 的含量.结果准确,精度高,从而实现了半导体中掺 N 浓度的控制.更多还原