【作者】 赵明山； 李国华； 张敬斌；
【机构】 曲阜师范大学激光所； 曲阜师范大学激光所 山东 273165； 山东 273165； 山东 273165；
【摘要】 <正> 平板剪切干涉技术是目前光学检测,测量及像质检验等领域中常用的干涉技术。现行的平板剪切干涉装置有两种形式:一是平行平板剪切干涉,另一类是楔形平板剪切干涉。前者利用无限宽条纹判定光束的准直性,精度受光束直径的限制较大;后者利用有限个条更多还原
