【作者】 张长鑫; 龙民; 刘秀坤;
【机构】 北京科技大学; 北京科技大学;
【摘要】 讨论了过程参数对沉积动力学、涂层的过渡层、形貌、结构和晶体生长的影响,并阐述了沉积动力学与涂层形貌、显微结构,性质间的关系。更多还原