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薄膜斜生长的微观模型和理论计算

THE PHYSICAL MODEL AND THEORETICAL CALCULATIONS OF OBLIQUE GROWTH IN FILMS

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【作者】 李晓萍； 杨杰； 范玉殿；

【Author】 Li Xiaoping, Yang Jie, Fan Yudian (Department of Materials Science and Engineering, Tsinghua University)

【机构】 清华大学材料科学与工程系； 清华大学材料科学与工程系 北京 100084； 北京 100084； 北京 100084；

【摘要】 提出一种几何屏蔽的物理模型,用平均的方法定量计算了气相沉积薄膜中柱状结构的斜生长方向,并且用此模型对Thornton的结构区域图中1区和T区的形成进行了半定量的解释。

【Abstract】 A physical model of oblique growth is established in the case of films deposited under the condition of low mobility. The mean orientation direction of the columnar is calculated and a semi-quantitative explanation of the formation condition of Zone 1 and Zone T in Thornton’s SZM is given by means of calculations with this model.

【关键词】 微观模型； 柱状结构； 气相沉积； 生长方向； 计算机模拟； 择优生长； 物理模型； 垂直磁记录； 区域图； 低温生长；
【基金】 国家自然科学基金资助 (NsPC·9587007)
  • 【文献出处】 真空科学与技术 ,Vacuum Science and Technology , 编辑部邮箱 ,1992年05期
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