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微孔金属气体过滤膜

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【作者】 王杏梅； 周志德；

【机构】 北京钢铁研究总院； 北京钢铁研究总院；

【摘要】 本文介绍了一种用于过滤气体的粉末轧制镍微孔金属膜,已成功地用于电子工业高纯气（Ar、H2、O2和N2）的终端过滤,拦截的最小尘埃径为0.1μm。

【关键词】 过滤膜； 金属膜； 微孔膜； 粉末轧制； 过滤效果； 含尘量； 洁净度； 制膜； 膜过滤； 孔金；
  • 【文献出处】 新技术新工艺 ,New Technology & New Process , 编辑部邮箱 ,1992年01期
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