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平面磁控溅射靶及其镀膜方法

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【作者】范玉殿；马志龙；孙培芬；尤引娟；

【机构】清华大学材料科学与工程系；清华大学材料科学与工程系；

【关键词】磁控溅射；镀膜技术；靶材；合金薄膜；铁磁材料；金膜；靶面；漏磁场；励磁电流；超晶格；

【文献出处】物理 ,Physics , 编辑部邮箱 ,1992年09期
【被引频次】1
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