【作者】 刘大明; 刘祖黎; 李再光;
【机构】 华中理工大学; 华中理工大学 武汉430074; 武汉430074; 武汉430074;
【摘要】 本文简述了准分子激光的发展历史、原理、现状及展望,介绍了准分子激光在染料激光、光谱学、光刻、薄膜沉积、表面处理、精密机械加工及医学领域的几种主要应用.更多还原