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TW-SLA AR膜剩余反射率实时监控新方法

A new method of monitoring the in-situ residual reflectivity of antireflection coating

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【作者】 黄菊仙； 刘德明； 黄德修；

【Author】 Huang Juxian,Liu Deming,Huang Dexiu (Huazhong University of Science and Technology)

【机构】 华中理工大学光学系； 华中理工大学光学系 武汉； 武汉；

【摘要】 介绍一种实时监控行波半导体激光放大器（TW-SLA）抗反膜（AR）超低剩余反射率的新方法。从理论和实验上分析了剩余反射率与SLA的输出光功率关系及温度对其输出功率的影响。在1.3μm InGaAsP/InP掩埋异质结（BH）激光二极管（LD）上镀单层SiOx或SiOx1/SiOx2膜获得了低于5×10-4的超低反射率。

【Abstract】 A new method of monitoring the in-situ extremely low residual reflectivity of antireflection （AR） coating of travelling-wave semiconductor laser amplifier （TW-SLA） is presented. The relations among the residual reflectivity, temperature and the output power of SLA are analyzed theoretically and experimentally. Minimum reflec- tivity less than 5×10-4 can be realized by means of using a 1.3μm InGaAsP/InP buried-hetero-structure （BH） laser diode coated with single-layer SiOx or double-lager SiOx1/SiOx2 film.

【关键词】 实时监控； TW-SLA AR； 激光放大器； 输出光功率； 激光二极管； 半导体激光器； 异质结； 速率方程； 调制深度； 行波；
【基金】 国家“863”计划资助项目
  • 【文献出处】 激光技术 ,Laser Technology , 编辑部邮箱 ,1992年02期
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