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北京同步辐射装置X光光刻束线监测系统

The Beam Monitoring System for 3B1 on BSRF

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【作者】 崔明启； 刘丽冰； 徐文轩； 唐鄂生； 吴坚武； 王培玮； 尹福廷； 陈光辉；

【Author】 Cui Mingqi Liu Libing Xu Wenxuan Tang Esheng Wu Jianwu Wang Pei-wei Yi Futing Chen Guanghui (Institute of High Energ7 Physics, Academia Si nica,Beijing 1QOQ39)

【机构】 中国科学院高能物理研究所； 中国科学院高能物理研究所 北京； 100039； 北京； 100039；

【摘要】 本文介绍了安装在北京同步辐射装置(BSRF)3B1束线上的自制同步辐射光束在线监测系统,对光束垂直位置、光斑均匀性及光刻曝光量(同步光积分光强)实现了在线监控,给出了实时在线测试结果。

【Abstract】 A homemade beam monitoring system for lithography of beamline ons Beijing Synchrotron Radiation Facility is reported in this paper.The syst emd consist of a vertical position monitor, a detector for uniformity of spot ani a controller of exposure for lithography> The on line measurement results are given,, ;

【关键词】 同步辐射； X光光刻监测系统； 垂直位置； 均匀性；
【Key words】 Synchrotron radiation； Lithography； Monitor system； Vertical position； Uniformity；
  • 【文献出处】 核电子学与探测技术 ,Nuclear Electronics & Detection Technology , 编辑部邮箱 ,1992年06期
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