节点文献

用于MOVPE工艺的Ⅲ族不自燃MO源的物理性质

  • 推荐 CAJ下载
  • PDF下载
  • 不支持迅雷等下载工具，请取消加速工具后下载。

【作者】 L.Pohl； M.Hostalek； 安华；

【机构】 化工部光明化工研究所；

【摘要】 目前,已开发出不自燃的铝、镓、铟金属有机化合物,并已安全用于金属有机汽相外延工艺(MOVPE),用以制备Ⅲ—Ⅴ族半导体材料。这些化合物是以分子间或分子内配位饱和形式存在的,利用改变分子结构的方法很容易调节物理性质。得到了室温下是液体的新源,并已证明适合与一般的V族有机源一起使用,也可以与新型的V族有机源一起使用。讨论了这些MO源的合成与外延。

【关键词】 汽相外延； MOVPE； 金属有机化合物； 外延层； 半导体材料； 备中； 加合物； 特丁基； 汽压； 金属原子；
  • 【文献出处】 低温与特气 ,Low Temperature and Specialty Gases , 编辑部邮箱 ,1992年02期
  • 【下载频次】34
打印本页
节点文献中：