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金刚石薄膜的红外增透性

On Infrared Transmissivity of Thin Diamond Films

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【作者】 杨国伟； 毛友德；

【Author】 Yang Guowei Mao Youde Dept.of Appl.Phys.,Hefei University of Technology Hefei 230009

【机构】 合肥工业大学应用物理系； 合肥工业大学应用物理系 合肥 230009； 合肥 230009；

【摘要】 以 CH3COCH3/H2为工作气体,用 HFCVD 方法,制备出适用于红外光学的金刚石薄膜。用 SEM 观察到了所制备膜的表面晶形。讨论了金刚石薄膜的红外增透性。

【Abstract】 Thin diamond films used for infrared optics have been prepared by HFCVD using CH3COCH3/H2 as an operating gas.Surface crystal formation of the prepared films is observed by SEM,and their infrared transmissivity is discussed.

【关键词】 金刚石薄膜； 表面晶形； 红外增透性；
【Key words】 Thin Diamond Film； Surface Crystal Formation； Infrar(?)d Transmissivity；
  • 【文献出处】 半导体光电 ,Semiconductor Optoelectronics , 编辑部邮箱 ,1992年02期
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