【作者】 辛荣生； 章云杰； 牛道明； 李强； 姚进虎；
【机构】 洛阳单晶硅厂； 洛阳单晶硅厂；
【摘要】 本文采用正籽晶、平置小内径线圈工艺成功地制备了φ76.2mmFZ〈100〉晶向单晶硅,研究了单晶生长机理与工艺。产品纯度高、质量好,加工性能优于同类产品,已日益得到广泛应用。更多还原
