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YAG激光微加工机

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【作者】 霍长征；

【机构】 中国科学院安徽光机所 230031；

【摘要】 <正> 在现代大规模集成电路的制作中,尤其在微电子领域多层布线混合集成电路用的

【关键词】 激光微加工； YAG激光； 多层布线； 混合集成电路； 微电子领域； 激光参数； 高温烧制； 陶瓷基板； 微机控制； 混合电路；
  • 【文献出处】 量子电子学 ,Chinese Journal of Quantum Electronics , 编辑部邮箱 ,1991年01期
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