【作者】 焦树良； 刘大明； 李再光；
【机构】 华中理工大学激光国家实验室； 华中理工大学激光国家实验室 430074； 430074； 430074；
【摘要】 <正> 目前氧化物高温超导薄膜的制备已有多种方法,其中准分子激光溅射法是最有前途的方法之一。准分子激光溅射法制备高温超导膜的最大特点就是其保成份性和高效率。由于其保成份性使得制备厚位超导膜成为现更多还原
