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高纯气体处理设备的电解抛光

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【作者】 Ryszard Rokicki； 赵晨阳；

【机构】 化工部光明化工研究所；

【摘要】 <正> 前言需用超高纯气体的半导体工业是现在发展最快的工业之一。为了满足需要,特气生产者不断开发了先进的分离、提纯和配气技术,可得到各种有保证的纯度等级的特气,其中包括7级(99.99999％)的特气。这是工业中应用的最纯气体。为了防止这些超纯气体被二次污染,气体钢瓶及有关气体处理设备应尽可能达到清洁和化学稳定。本文说明电解抛光是达到这一目的的最好方法。

【关键词】 电解抛光； 气体处理设备； 气体钢瓶； 超纯气体； 二次污染； 抛光工艺； 半导体工业； 机械抛光； 抛光工具； 配气；
  • 【文献出处】 低温与特气 ,Low Temperature and Specialty Gases , 编辑部邮箱 ,1991年01期
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