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类金刚石碳膜作为红外元件减反射膜的研究

Study on Diamond--like Carhon Film for Antireflection Coating of Infrared Devices

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【作者】 毛友德； 刘声雷； 杨国伟；

【Author】 Mao Youde;Liu Shenglei;Yang Guowei Dept. of Applied Physics, Hefei Polytechnic University Hefei 230009

【机构】 合肥工业大学应用物理系； 合肥工业大学应用物理系 合肥 230009； 合肥 230009；

【摘要】 本文以甲苯为工作气体,先用高频辉光放电等离子体CVD方法制备出类金刚石碳膜,研究了它的光吸收和红外增透性,以及在Si、Ge等红外元件上作为减反射膜的应用。

【Abstract】 Diamond-like Carbon films have been formed from C7H8 gas by rfPCVD. The optical properties of diamond-like carbon films are investigaed. The experiment results show that diamond-like carbon films are suitable for antireflec- tion coatings of infrared devices.

【关键词】 高频辉光放电等离子体CVD； 类金刚石碳股； 减反射膜；
【Key words】 rfPCVD； Diamond-like Carbon Film； Antireflection Coating；
【基金】 机电部机械工业技术发展基金,编号:86J7720
  • 【文献出处】 半导体光电 ,Semiconductor Optoelectronics , 编辑部邮箱 ,1991年02期
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