【作者】 张世良； 陈鹏； 胡永年； 洪惠荫； 任妮； 孙玉珠；
【机构】 兰州物理研究所； 兰州物理研究所；
【摘要】 在2.7Pa 至2.7×10-2Pa 氮压力范围,测量了不同压力下电弧源喷射的微粒密度及薄膜沉积速率的变化。随压力升高,微粒密度及膜沉积速率下降。利用 AES 和 SIMS 对不同压力下形成的 TiN 膜及工作后的阴极表面进行了深度剖面分析。最后对实验结果进行了讨论。更多还原
