【作者】 朱建生;
【机构】 中国科学院上海冶金研究所;
【摘要】 <正> 一、前言激光修调系统是在当代激光技术、微型计算机技术、结合有关的测试技术的基础上发展起来的。这类系统大致可划分为两类,一类是用于厚薄膜电阻及其网络的阻值精密修正以及电路芯片某些电学参量的功能修更多还原