【作者】 李胜华； 张志明； 张冬喜； 竺品芳； 丁正明；
【机构】 上海交通大学； 上海交通大学；
【摘要】 本文采用研磨、超声波和化学方法处理单晶硅基片,观察了缺陷形成的形态,进行低压法合成金刚石多晶薄膜的实验研究,初步讨论了缺陷在金刚石成核结膜中的重要作用。更多还原
