【作者】 周坤粦； 曹伟民； 张吉人；
【机构】 中国科学院成都有机化学研究所； 中国科学院成都有机化学研究所；
【摘要】 本文介绍了等离子体气相沉积有机硅绝缘钝化膜的制备、性质和结构。以及在晶体管芯柱中的应用结果、解释了绝缘钝化机理．更多还原
