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多晶金刚石薄膜的晶粒散射吸收与红外光学增透

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【作者】 杨钧； 汤大新； 金曾孙； 吕宪义； 王卉； 邹广田；

【机构】 吉林大学原子与分子物理研究所； 吉林大学原子与分子物理研究所 长春 130023； 长春 130023； 长春 130023；

【摘要】 <正> 一、引言 自Derjaguim等人首次人工合成Si衬底金刚石薄膜以来,金刚石薄膜的研究特别是其功能特性的研究,倍受重视而得到迅速发展。金刚石薄膜良好的光学性质使其有希望成为应用广泛的光学窗口材料。热解化学气相沉积方法可以获得400mm~2以上的大面积金刚石薄膜,这种薄膜是一种多晶薄膜,可以在Si、Ge和石英等光学窗口材料衬底上生长。生长过

【关键词】 金刚石薄膜； 红外； 散射；
  • 【文献出处】 科学通报 ,Chinese Science Bulletin , 编辑部邮箱 ,1990年17期
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