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VAPOUR PHASE METHOD FOR DIAMOND THIN FILM GROWTH

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【作者】 金曾孙； 吕宪义； 皇甫萍； 邹广田；

【Author】 JIN ZENG-SUN L XIAN-YI, HUANG Fu-PING AND ZOU GUANG-TIAN(Institute of Atomic and Molecular Physics, Jilin University, Changchun 130023, PRC)

【机构】 Institute of Atomic and Molecular Physics； Jilin University； Changchun 130023； PRC； PRC；

【摘要】 <正> Diamond has extreme hardness and is a new type of multi-function material which has excellent electrical, optical, thermal and mechanical properties.Russian scientists Derjaguin et al. successfully synthesized diamond on nondiamond substrates by chemical transport reaction method in 1976. In 1982, Japanese sci-

【关键词】 diamond thin film； hot filament CVD； crystal feature.；
【Key words】 diamond thin film； hot filament CVD； crystal feature.；
  • 【文献出处】 Chinese Science Bulletin ,科学通报(英文版) , 编辑部邮箱 ,1990年12期
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