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激光合成特殊性能薄膜的新方法

A New Synthesis Method for Special Property Film by Laser

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【作者】 潘俊德； 范本惠； 郑维能； 李城明； 李钰；

【Author】 Pan Junde Fan Benhui Zheng Weineng Li Chenming(Ion-Permeation and heat treatment Instisute Taiyuan Industry University) Li Yu(Laser Lab, Taiyuan Industry University)

【机构】 太原工业大学离子渗金属及热处理研究所； 太原工业大学基础部；

【摘要】 本文主要介绍国内外激光技术在合成金刚石薄膜、立方氮化硼薄膜、超导薄膜、半导体薄膜等的最新方法.

【Abstract】 In the paper, the newest methods for syntyesing diamend film, Cubic BN film,superconductor film and semiconductor film at home and abroad are introduced.

【关键词】 薄膜质量； 金刚石薄膜； 半导体薄膜； 立方氮化硼薄膜； 超导薄膜； 激光场； 陶瓷薄膜； 激光技术； 合成金刚石； 导体膜；
  • 【文献出处】 光电子·激光 ,Journal of Optoelectronics·Laser , 编辑部邮箱 ,1990年05期
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