【作者】 高增； 唐学渊； 朱风顺； 张俊香； 林玉占；
【机构】 中国科学院大连化学物理研究所； 中国科学院大连化学物理研究所；
【摘要】 <正> 前言为了满足大规模集成电路、色谱等精密仪器或测试方法、激光、电真空材料加工、金属有机合成、催化、生化等生产及科研领域中气体的深度净化需要,我们研制了一种新的净化工具——高效气体脱氧管。它的应更多还原
