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化学量传感器

Chemical Sensors

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【作者】 武世香； 虞惇； 王贵华；

【Author】 Wu Shixiang Yu Dun Wang Guihua(Harbin Institute of Technology)

【机构】 哈尔滨工业大学； 哈尔滨工业大学；

【摘要】 <正> （三）pH-ISFET、ISFET和CHE-MFET 氢离子敏场效应晶体管是最基本的离子敏场效应晶体管。它与MOSFET的区别只在于用对氢离子有响应的敏感膜（如Si3N4膜）取代了金属栅。氢离子敏感膜

【关键词】 化学量传感器； 敏感膜； 场效应晶体管； 子敏； 氢离子； 敏感器件； 金属栅； 微生物传感器； 化学传感器； 免疫传感器；
  • 【文献出处】 传感器技术 ,Journal of Transducer Technology , 编辑部邮箱 ,1990年02期
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