高纯气体中微量一氧化碳、甲烷、二氧化碳的气相色谱测定

【摘要】 <正> 气体中微量一氧化碳、甲烷、二氧化碳的测定,大多用灵敏度较高的氢焰离子化检测器(FiD)。随着半导体工业的发展,大规模集成电路的生产对高纯气体中一氧化碳、甲烷、二氧化碳的检测,提出了更高的要求。然而,对氢焰离子化检测器,随着灵敏度的提高,噪音明显增高,基线达到稳定需要较长的时间。我们采用液氮冷阱冷却载气,基线不仅能很快达到稳定,而且在高灵敏度时,噪音显著降低。长期测定结果表明,这一方法是完全可行的,能够满足集成电路生产对高纯气体中微量一氧化碳、甲烷、二氧化碳检测的需要。更多还原