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激光多普勒测速法用于扩散泵蒸汽流速测量的试验

MEASUREMENT OF VAPOUR FLOW SPEED IN DIFFUSION PUMP WITH LASER DOPPLER ANEMOMERY

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【作者】 刘力田； 李梅林； 姚民生； 杨乃恒；

【Author】 Liu Litian, Li Meilin, Yao Minsheng, Yang Naiheng (Northeast University of Technology)

【机构】 东北工学院； 东北工学院；

【摘要】 <正> 一、引言真空扩散泵自1915年问世以来,经历了七十多年的发展史,对工业和科学技术的发展起了重要作用。如今,真空扩散泵的性能普遍得到了提高,能够应用于非常广泛的领域。然而,人们对于真空扩散泵的抽气机理尤其是蒸汽射流的流动状态缺乏深刻的了解。特别是,至今还未有一套对扩散泵蒸汽射流进行测量的直接手段。为了填补这一领域的空缺,我们试验了一种新的测量方法,即用先进的激光多普勒测速法对真空扩散泵

【关键词】 扩散泵油； 流速测量； 蒸汽流动； 测量方法； 射流速度； 气体流动； 数据速度； 激光测速仪； 逐点测量； 空间分辨率；
  • 【文献出处】 真空科学与技术 ,Vacuum Science and Technology , 编辑部邮箱 ,1989年04期
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