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超高真空粘附、摩擦实验装置的研制

UHV ADHESION AND FRICTION EQUIPMENT

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【作者】 戚震中； 孙建三； 周芷仙； 刘玲；

【Author】 Qi Zhenzhong, Sun Jiansan, Zhou Zhixian, Liu Ling (Research Institute of Sotid State Physics, Academia Sinica)

【机构】 中科院固体物理所； 中科院固体物理所；

【摘要】 本文描述了我们研制的超高真空粘附、摩擦实验装置,实现了超高真空条件下原位分析不同固体表面对粘附、摩擦性能的影响。实验研究证明该装置性能稳定,能满足设计要求。

【关键词】 摩擦性能； 原位分析； 粘附力； 可动部件； 残余气体； 摩擦过程； 真空度下降； 接触电阻； 测量系统； 冷阴极；
  • 【文献出处】 真空科学与技术 ,Vacuum Science and Technology , 编辑部邮箱 ,1989年03期
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