节点文献

钛的反应离子刻蚀

  • 推荐 CAJ下载
  • PDF下载
  • 不支持迅雷等下载工具，请取消加速工具后下载。

【作者】 应再生；

【机构】 上海交通大学应用物理系；

【摘要】 本文介绍在扩钛条波导器件的研制中,对难熔金属钛的微细图形用CCl4及辅助气体进行反应离子刻蚀的研究,并对如何提高刻蚀质量进行了分析讨论。

【关键词】 反应离子刻蚀； 刻蚀速率； 波导器件； 辅助气体； 刻蚀法； 难熔； 光刻胶； 干法刻蚀； 掩膜； 光刻工艺；
  • 【文献出处】 微细加工技术 ,Microfabrication Technology , 编辑部邮箱 ,1989年02期
  • 【下载频次】110
打印本页
节点文献中：