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绝缘层上多晶硅的激光加热再结晶方法

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【作者】 林成鲁； 邹世昌； 沈宗雍；

【机构】 中国科学院上海冶金研究所离子束开放研究实验室； 中国科学院上海冶金研究所离子束开放研究实验室；

【关键词】 再结晶过程； 激光加热； 辐照器； 寄生电容； 激光扫描； 激光再结晶； 集成电路工艺； 化学气相淀积； 热氧化； 日本专利；
  • 【文献出处】 物理 ,Physics , 编辑部邮箱 ,1989年08期
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