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O(~3P)原子和硅烷化学反应动力学研究

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【作者】 陈从香； 高义德； 朱梦霞； 孔繁敖； S.Koda；

【机构】 中国科学技术大学近代化学系； 日本东京大学工学部反应化学系；

【摘要】 <正> 众所周知,硅烷是半导体工业的重要原料,在O2或空气中的燃烧和SiOx形成是重要的研究课题。但与之相关的基元反应O（3P）+SiH4的动力学则研究得很少。

【关键词】 化学反应动力学； 基元反应； 半导体工业； 反应速率常数； 微波放电； 化学发光； 过渡态理论； 火焰温度； 外推； 反应产物；
  • 【文献出处】 量子电子学 ,Chinese Journal of Quantum Electronics , 编辑部邮箱 ,1989年02期
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