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双轴晶衬底上双轴晶单晶薄膜的椭偏测量

Ellipcometric measurement of biaxial single crystal films on biaxial crystal substrats

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【作者】 施路平； 蒋民华； 邵宗书； 刘耀岗； 王继扬；

【Author】 SHI LUPING, JIANG MINHUA, SHAO ZHONGSHULIU YAOGANG AND WANG JITANG (Institute of Crystal Materials, Shandong University, Jinan)

【机构】 山东大学晶体材料研究所； 山东大学晶体材料研究所 济南； 济南； 济南；

【摘要】 本文给出了两种测量双轴晶衬底上双轴晶单晶膜的折射率和膜厚的方法及测量的公式.我们利用这种方法测量了所研制的KTP光波导薄膜层的折射率和膜厚.

【Abstract】 This paper presnts two kinds of methods for measuring the biaxial single crystal films on the biaxial crystal substroats. We have used such methods to measure the thickness and refractive index of the film layer of KTP waveguide.

【关键词】 椭圆偏振测量； 双轴晶； 光率体；
【Key words】 ellipsometrio measurement； biaxial crystal； ludioatrix.；
【基金】 国家自然科学资助的项目
  • 【文献出处】 光学学报 ,Acta Optica Sinica , 编辑部邮箱 ,1989年11期
  • 【被引频次】4
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