【作者】 姜恩永； 单慧波； 张西祥； 李金锷；
【机构】 天津大学物理系； 天津大学物理系；
【摘要】 本文系统地研究了对向靶溅射参数P_Ar、I_s、T_s、V_b对CoCr膜结构和磁性的影响。结果发现较低的P_Ar和适当的V_b对提高CoCr膜C轴的取向度有利,T_s、I_s对CoCr的磁性有很大影响。在此基础上研制出了CoCr软磁盘。更多还原
