【作者】 顾瑛； 张德胜； 张民强；
【机构】 西安电子科技大学； 西安电子科技大学；
【摘要】 本文论述了电荷陷阱对器件稳定性的影响;认为在器件制造过程中监测电荷陷阱密度是很重要的.本文介绍了雪崩注入法测量电荷陷阱密度的方法,并给出了测量结果.更多还原
