【作者】 魏宝华; 黄波;
【机构】 华南师范大学; 华南师范大学;
【摘要】 本文用 DLTS 方法测量深能级的浓度分布时,引入了有效发射宽度概念,很好地反映了空间电荷区边界层的影响。用它作为测量深能级浓度分布的一个主要参量,非常方便。更多还原