【作者】 曹德福； 陈建华； 胡建英； 钱少青；
【机构】 上海冶金研究所； 上海真空泵厂；
【摘要】 本文介绍了超高真空排气台微机控制系统的主要技术性能、硬件设计方案、系统的软件设计，并强调抗干扰的重要性及其所采取的措施等。更多还原
