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超高真空扩散泵用硅油的性能研究

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【摘要】 使用油扩散泵获得超高真空,扩散泵油的蒸汽压、稳定性以及纯度是影响极限真空的主要因素。我们曾经对三种低蒸汽压硅油样品进行性能比较。编号DC—705(1),DC—705(2),它们为本所合成样品. YG 275为上海树脂厂产品。以及三个本所合成的副产物平4、平5及特6。通过测量极限真空、确定质量以及在操作上使用这种低蒸声压硅油应注意事项、防止污染、进一步提高真空度方法等给以报导,以供生产及使用各方面参考。

  • 【文献出处】 真空 ,Vacuum , 编辑部邮箱 ,1988年06期
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