【作者】 陈祖耀; 张酣; 朱朝晖; 钱逸泰; 潘作新;
【机构】 中国科学技术大学应用化学系; 中国科学技术大学应用化学系; 电子工业部第四十三研究所;
【摘要】 本文报导采用典型的微电子学工艺一丝网漏印法制备以SnO2为基的厚膜气体传感器。研究了不同掺杂剂和玻璃料对厚膜气敏材料性能的影响,结果显示ZrO2掺杂有助于提高厚膜气体传感器对一氧化碳和乙醇的选择性,而且气体传感元件的厚膜工艺设备筒单,便于生产。更多还原