【作者】 陈祖耀； 张酣； 朱朝晖； 钱逸泰； 潘作新；
【机构】 中国科学技术大学应用化学系； 中国科学技术大学应用化学系； 电子工业部第四十三研究所；
【摘要】 本文报导采用典型的微电子学工艺一丝网漏印法制备以SnO2为基的厚膜气体传感器。研究了不同掺杂剂和玻璃料对厚膜气敏材料性能的影响,结果显示ZrO2掺杂有助于提高厚膜气体传感器对一氧化碳和乙醇的选择性,而且气体传感元件的厚膜工艺设备筒单,便于生产。更多还原
