【作者】 何勇胜；
【机构】 上海机械学院特种工艺研究室；
【摘要】 提高圆光栅的照相复制精度和均匀性是国内外急需解决的问题。本文就提高圆光栅照相复制精度和均匀性的工艺因素作了详细分析,并提出了提高上述指标的方法。更多还原
