【作者】 王海荣； 王永发； 王焕杰； 张伟； 王季陶；
【机构】 复旦大学材料科学系； 复旦大学材料科学系；
【摘要】 近年来,类金刚石碳膜引起了很大关注。本文采用直流辉光放电法和外加直流偏 压高频辉光放电法制备非备晶碳膜,证实了直流辉光放电法的生长机理是正离子淀积过程;而高频辉光法的生长机理则比较复杂,可能存在正离子和自由基的混合过程。生长温度对薄膜折射率有一定影响。更多还原
