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Au-Si<111>体系离子束混合中的温度影响

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【作者】 李玉璞； 陈坚； 刘家瑞； 章其初；

【机构】 北京大学； 北京大学； 中国科学院物理研究所； 中国科学院物理研究所 北京科技大学博士研究生；

【摘要】 <正> Au-Si 系统是一种典型的共晶体系。B.X.Liu 等通过对 Au 与 Si 迭层膜的研究得到多种组分比和相结构的 Au 与 Si 的混合层[1];S.S.Lau 等通过对 Au 膜-Si 衬底样品的研究0得到过 Au71Si29（～Au5Si2）亚稳相[2]。本文在更宽的离子束参数及更宽的温区（77—573K）下,系统地研究了 Ar 离子束诱导的 Au 膜-Si<lll>衬底体系的原子混合现象,

【关键词】 离子束混合； Au-Si<111； 混合层； 温区； 共晶； 温度影响； 亚稳相转变； 迭层； 热蒸发； 分比；
  • 【文献出处】 材料科学进展 , 编辑部邮箱 ,1988年04期
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