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一次液相外延的阶梯衬底内条形激光器

Terraced Substrate Inner Stripe Lasers by One-Step Liquid Phase Epitaxy

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【作者】 杜国同； 马骁宇； 邹峥； 高鼎三；

【Author】 Du Guotong/Department of Electronic Science, Jilin University,ChangchunMa Xiaoyu/Department of Electronic Science, Jilin University,ChangchunZou Zheng/Department of Electronic Science, Jilin University,ChangchunGao Dingsan/Department of Electronic Science, Jilin University,Changchun

【机构】 吉林大学电子科学系； 吉林大学电子科学系 长春； 长春； 长春；

【摘要】 设计研制了一种新的低阈值、单模工作的(GaAl)As/GaAs激光器.该激光器结构巧妙地利用了非平面衬底液相外延的性质,所有外延层的生长和电流通路内条的形成均在一次液相外延中完成,制造工艺非常单简.

【Abstract】 A new (GaAl)As/GaAs laser whith low threshohld current and single mode is developed.Making ingeniously use of properties of liquid-phase epitaxy over nonplanar substrate,thegrowth of all layers and the inner stripe for a current channel is completed by one-step liquid-phase epitaxy.The fabrication process is very simple.

【关键词】 阶梯衬底； 内条； 一次液相外延； GaAs； 激光器；
【Key words】 Terraced substrate； Inner stripe； One-step liquid phase epitaxy； GaAs； Laser；
  • 【文献出处】 半导体学报 ,Chinese Journal of Semiconductors , 编辑部邮箱 ,1988年03期
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