【作者】 王海； 杜元成；
【机构】 复旦大学电子工程系； 复旦大学电子工程系；
【摘要】 本文介绍一种小角度(<1°)磨角装置,其磨角的斜率在1/1000～15/1000范围内连续可调,剖面的纵向分辨率可达100A.更多还原
