【作者】 李云奇； 王宝霞；
【机构】 东北工学院； 东北工学院；
【摘要】 本文对薄膜刻蚀的原理及用途作了叙述，并对干法离子束刻蚀与湿法化学刻蚀的优缺点作了比较，还就国内外研究的现状作了叙述，最后对干法刻蚀的研究方向及发展趋势作了论述。更多还原
