【作者】 乔东生； 阎秀英； 冯群；
【机构】 中国科学院长春物理所； 中国科学院长春物理所；
【摘要】 <正> 一、特征及技术参数1.特征:为了提高LC—3型离子注入机的使用效率和质量,并且能实现全元素离子注入,为此研制出可供双等离子源、溅射离子源、重离子源等使用的“HDS离子源电源。”要求具有稳定的弧流、炉温和稳定的阳极、磁场电源。并要求可靠、耐用和维修方便。更多还原
