【作者】 李志能； 曹睿■； 王家斌；
【机构】 浙江大学无线电系； 浙江大学无线电系；
【摘要】 <正> 一、概述静电多极偏转器是电、离子光学系统中的一个基础部件,近年来它在电子束曝光机和聚焦离子束装置中得到普遍的应用,其主要原因:1.扫描速度快,生产效率高;2.合理设计多极偏转器,其象差可做得较小,并对象散易于进行校正;更多还原
