【作者】 李丹之; 武洪建;
【机构】 上海科技大学分部; 上海半导体器件研究所;
【摘要】 本文介绍了一种新型钙钛矿型陶瓷湿敏元件的制作工艺和特性。对铬酸镁半导瓷和钙钛矿型半导瓷不同的湿敏特性进行了微观结构分析,同时还分析了元件的频率特性。更多还原